銦錫氧化物透明導電薄膜(ITO)是顯示器面板制造過(guò)程中非常重要的技術(shù)項目，其薄膜的物理特性將直接影響到最終產(chǎn)品顯示器的畫(huà)質(zhì)及其價(jià)位。玉豐真空提供高品質(zhì)ITO鍍膜技術(shù)，可應用於電阻式或電容式（多點(diǎn)觸碰）之觸控屏產(chǎn)品。廣泛應用于TP、LCD、TFT、OLED等諸多行業(yè)。

　　濺鍍工序在觸控屏生產(chǎn)工藝中非常重要的環(huán)節，不論在設備或技術(shù)上，玉豐真空在國內及海外都有豐碩的實(shí)績(jì)。玉豐真空秉持“開(kāi)發(fā)尖端產(chǎn)品，謀求人類(lèi)幸?！钡男拍?，致力于發(fā)展觸控屏與高科技真空鍍膜系統設備，矢志創(chuàng )新！現如今，玉豐真空所制造生產(chǎn)的鍍膜設備系統與工藝技術(shù)已處于世界領(lǐng)先水平，系統穩定性、品質(zhì)及研發(fā)能力都深受?chē)鴥韧饪蛻?hù)的認可與信賴(lài)。

我司生產(chǎn)的該類(lèi)生產(chǎn)線(xiàn)主要有以下特點(diǎn)：

　　- 用真空大面積磁控濺射技術(shù)，沉積效率高，膜層質(zhì)量高，可重復性好

　　- 采用分段式供氣，提高真空膜層均勻性

　　- 采用分區多點(diǎn)控溫模式，有效保證基片溫度均勻性，從而減少碎片幾率且大幅提高產(chǎn)品質(zhì)量

　　- 采用隔氣單元，對不同工藝段進(jìn)行有效氣氛隔離

　　- 氧化層采用SPEEDFLOW進(jìn)行反射濺射控制

　　- 采用磁導向非接觸式傳動(dòng)系統，基片架傳動(dòng)平穩，工藝環(huán)境潔凈度高

　　-電氣控制系統：PLC+PC自動(dòng)控制結構，具有多種控制和操作方式，界面人性化。提供實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監測，對設備運行異常數據及故障進(jìn)行報警提示，并進(jìn)行相應記錄

- 圖片示例

立式直線(xiàn)與立式U型鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)

立式MO-AL-MO/ITO生產(chǎn)線(xiàn)

TFT玻璃專(zhuān)用鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)